空军工程大学学报

作者：刘保军,雍霄驹,张爽,陈名华

单位：空军工程大学航空机务士官学校,河南信阳,464000\

关键词：工艺波动;单粒子瞬态(SET);串扰效应;极限工艺角

基金：国家自然科学基金(11975311,11405270)

为了表征互连线结构参数工艺波动对单粒子串扰(SEC)的影响,基于互连线的RLC等效模型和单粒子瞬态(SET)的等效电路,设计正交试验,利用极差分析和方差分析法,确定了互连线结构参数工艺波动时SEC的极限工艺角,并分析了技术节点、粒子能量、互连线长度对SEC极限工艺角的影响机理。结果表明,在互连线耦合效应和脉冲传播特性的共同作用下,45 nm 技术节点以上,互连线结构参数波动±10%时,SEC的波动范围大于20%,且相对变化量随着粒子能量的增加,呈增大趋势,但并没有随着互连线长度的增加而出现较大的差异。45 nm 技术节点以下,尽管SEC的电压峰值、噪声面积显著增加,但互连线工艺波动对SEC的影响却呈减小趋势,且随着互连线长度增加,SEC的波动呈增大趋势。

来源：2025年第3期

《空军工程大学学报》期刊编辑部

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